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以浸潤式（Immersion）微影技術改寫全球半導體微影發展的台積電前研發副總經理暨中研院院士林本堅，今年加入清華大學擔任講座教授。林本堅說，除了專業知識外，他還要教學生如何「把心放上去」，解決未來將面對的各種難題。

林本堅去年底自台積電退休後，許多大學都紛紛登門拜訪，希望能延攬半導體界的「國寶」。清大早在去年中就已經透過「侯金堆講座」極力爭取林本堅加入清大研究團隊，終於獲得他的首肯。

林本堅表示，他原規畫退休之後，只做兩件事，就是傳福音及幫助人得到更豐富的生命，後來一想，教書也是幫助人得到豐富生命的好方法。林本堅說，「我在產業界服務了46年，學到很多，也希望能教給下一代。除了教導專業知識外，我更希望能激發學生創意，台中全身按摩教導他們解決問題以及團隊合作的能力。」

過去半導體晶片製程主要採用乾式曝光，以空氣為鏡頭和晶圓之間的介質，林本堅創全球之先提出的浸潤式微影技術，則是以水為介質，在鏡頭和晶圓之間注入水，光的波長在水中縮短為134奈米，得以刻出更精密的晶片，這項創新也改寫了半導體業十幾年來的發展藍圖。

清華大學電機系主任徐碩鴻說，林本堅院士是改寫半導體歷史的巨擘，也是光學微影技術的先驅者，清華大學能夠延攬到這位謙虛又樂意傳授的國際人才任教，非常榮幸。

清華大學光電所自林本堅加入研究團隊後，已舉辦3場「林本堅院士學術沙龍」，邀請林本堅與清華教授討論光電領域發展以及微影製程研究。林本堅表示，清華光電所教授們的研究題目有些讓他很有興趣，希望未來能與教授合作，協助教授研究發展。

林本堅曾任職於IBM在美國的研究中心，在IBM工作22年後，林本堅選擇在美國自行創業將近10年。之後在台積電力邀下，林本堅於2000年加入台積電，並在2002年開始推動浸潤式微影技術，此項技術對全球半導體產業及台積電先進製程貢獻極大。